EXPERIMENTAL ASSESSMENT OF THE FEASIBILITY OF SILICON THERMAL SHIELDS FOR POLYSILICON DEPOSITION


Tabla resumen
 Institución: UPM Tipo: Transferencia
 Ámbito: Europeo Duración: 01/04/2015 - 30/04/2015
 Miembros: 1 IP: Hombre
 Fondos: 5000,00 Descripción: Europeo
Miembros