POLYSILICON DEPOSITION ONTO HIGH-SURFACE-AREA PLATES IN A CVD PROTOTYPE


Tabla resumen
 Institución: UPM Tipo: Transferencia
 Ámbito: Autonómico Duración: 01/09/2011 - 28/11/2012
 Miembros: 1 IP: Hombre
 Fondos: 67496,00 Descripción: Autonómico
Miembros